一文介绍ICP-MS三大机型产品矩阵深度解读

一文介绍ICP-MS三大机型产品矩阵深度解读

一、公司背景：二十年深耕，铸就国产质谱前进力量  

北京莱伯泰科仪器股份有限公司成立于2002年，是一家专业从事实验分析仪器的研发、生产和销售的科技型企业。自成立以来，公司始终聚焦环境检测、半导体分析、生命科学等国家重点领域，构建了从样品前处理到智能检测的全链条解决方案。截至目前，莱伯泰科产品已服务全球90多个国家和地区，累计服务3万余家客户。  

在电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）领域，莱伯泰科凭借在分析仪器设备领域二十年的积淀，推出了电感耦合等离子体质谱仪LabMS3000ICP-MS，正式进军半导体、生命科学、新能源以及各传统行业。2021年5月20日，莱伯泰科凭借自研ICP-MS——LabMS3000成功“破圈”，直指半导体行业应用，打破了该领域长期被进口品牌垄断的僵局。从2021年的LabMS3000到2026年的全链智造系统，莱伯泰科用五年时间完成了从追随到品牌跃迁。  

二、产品矩阵：三大主力机型，覆盖多元应用场景  

莱伯泰科目前已形成三大自研ICP-MS机型矩阵：LabMS3000（单四极杆通用型）、LabMS3300（高盐基体专用型）和LabMS5000（三重四极杆串联质谱旗舰型）。  

（一）LabMS3000——开疆拓土的先锋之作  

LabMS3000是莱伯泰科自主研发的高性能单四极杆电感耦合等离子体质谱仪。该产品采用工业标准27.12MHz全固态RF发生器，具有高的稳定性，冷、热等离子体可快速稳定切换，确保仪器24小时不间断安全稳定运行以及检测数据的可靠性。  

在抗干扰能力方面，LabMS3000采用新一代六极杆碰撞/反应池技术，使用单一高纯氦气即可有效消除多原子离子等质谱干扰，无需气体切换和模式切换，极大节约了分析时间。其检测器采用脉冲、模拟双模式同时型电子倍增器，可在一次运行中实现常量元素（数百或数千ppm）与痕量元素（ppt或亚ppt级）的直接分析。  

LabMS3000凭借优良的性能、稳定的品质以及出色的市场口碑，荣获“国产好仪器”称号。它先实现了国产ICP-MS在半导体头部企业芯片生产线端的验证与应用。  

（二）LabMS3300——直面复杂基体的升级之作  

全新升级的LabMS3300ICP-MS不仅延续了莱伯泰科明星产品的稳定性，更在检测灵敏度与可靠性上实现了质的飞跃。它集成了多项针对性创新技术，直面高基体、复杂样品分析时的各种硬核挑战。  

其核心技术包括：快速匹配离子源，为分析各种复杂基体时提供稳定可靠的离子化效率；氩气在线稀释与氩气加湿技术，在样品引入端即可自动将高盐基体稀释至锥口耐受范围，保证大批量样品连续运行的信号稳定性；三重离子提取技术，在有效提高待测元素灵敏度的同时改善离子聚焦、降低基体效应；新一代碰撞反应池技术，高效消除高基体带来的复杂多原子离子干扰，即使在超高TDS条件下，As、Se、Cd等关键毒理元素仍可获得亚ppt级的检出能力。  

（三）LabMS5000——国产三重四极杆的旗舰

LabMS5000是莱伯泰科在获得用户广泛赞誉的LabMS3000基础上推出的全新一代三重四极杆串联质谱仪（ICP-MS/MS）。该产品具有单四极杆和串联四极杆两种工作模式，可根据不同应用需求灵活选择。  

核心技术指标方面：背景噪音在4.5amu、5amu或220amu处均低于0.2cps；质量范围覆盖1-295amu。LabMS5000采用MS/MS模式实现受控且可靠的干扰去除，精准去除质量干扰离子，从而获得更低的检出限和准确的超痕量分析结果。  

该产品通过了国际半导体产业协会的SEMIS2认证，这是国产ICP-MS在国际半导体检测领域获得的重要认可。2025年，LabMS5000入选北京市重大技术装备目录，标志着国产ICP-MS在重大技术装备领域的又一重要突破。凭借的技术性能，LabMS5000已成功进入我国多家芯片、光伏和面板头部生产企业，被广泛应用于硅材料、电子湿化学品、光刻胶、高纯PFA、CMP抛光液以及化合物半导体等多个半导体生产环节。  
 

三、核心技术：自主创新的硬核实力  

（一）射频发生器系统  

莱伯泰科ICP-MS全系列采用工业标准27.12MHz全固态射频发生器。该发生器功率在500W至1600W范围内连续可调，功率波动小于±0.1%。支持常温1600W常规模式和500W冷等离子体模式，后者特别适合高纯材料及碱金属的超低含量检测。全固态设计带来了高的系统稳定性和可靠性，确保仪器可以长时间不间断安全运行。  

（二）干扰去除技术  

从LabMS3000的六极杆碰撞/反应池技术，到LabMS5000的串联四极杆MS/MS模式，莱伯泰科构建了层次化的干扰去除技术体系。MS/MS模式能够实现受控且可靠的干扰去除，精准去除质量干扰离子，可有效去除多原子和双电荷干扰，准确测试复杂基体样品中痕量元素的含量。在地质与矿产领域，LabMS5000可使用“化学分离”来解决同质异位素干扰，直接分离同质异位素重叠（如²⁰⁴Hg与²⁰⁴Pb、⁸⁷Rb与⁸⁷Sr等）。  

（三）智能软件平台  

莱伯泰科自主研发的HiMass智能工作站，采用一键式、向导式、模块化设计，界面简洁直观，易学易用。该软件平台具备一键自动调谐、方法向导和数据分析工具等功能，让复杂分析变得简单高效。  

（四）安全防护与可靠性  

莱伯泰科ICP-MS产品拥有可靠的安全配置，包括EMO（紧急停止）及Interlock（联锁）等。LabMS5000更是通过了SEMIS2认证，多达十重安全防护配置，带来全面可靠的安全防护，保证仪器长时间安全可靠运行。  

四、应用领域：从环境监测到半导体制造  

莱伯泰科ICP-MS系列产品的应用覆盖多个重要行业领域。  

环境领域：可用于地下水、地表水、海水、废水、饮用水、土壤、固废样品、空气和废气等环境样品中各类元素分析。LabMS3300可满足HJ700-2014《水质65种元素的测定电感耦合等离子体质谱法》等标准要求。  

食品领域：可用于各类食品中多元素分析及质量控制，满足GB5009.268等多项食品安全国家标准。LabMS5000可有效去除多原子和双电荷干扰，准确测试所有食品样品中痕量的砷、硒以及其他元素。  

制药领域：用于中药材、化学药、药用辅料中重金属及元素杂质测定。MS/MS模式可有效消除中药材等复杂基体带来的质谱干扰。  

医疗领域：用于血液、尿液、毛发等生物样品中常量元素、微量营养元素、重金属的检测以及人体药物浓度监测。LabMS5000的反应模式还可精准测量蛋白质中的S、P元素含量。  

半导体领域：可用于超纯水、湿电子化学品、电子特气、硅片、多晶硅、光刻胶等杂质元素检测。LabMS5000凭借高灵敏度、低检测限及优异的抗干扰能力，可精准检测湿电子化学品中痕量金属杂质。  

此外，产品还广泛应用于疾控卫生、地质与矿产、公安司法、材料科学、能源与化工等领域。  

五、从单品到全链：智能化全流程解决方案  

2026年5月20日，莱伯泰科发布了年度核心创新成果——EvoLab智能化全流程元素分析系统。该系统集成了超级微波消解仪、液体定容稀释进样系统和全新一代ICP-MS（LabMS3300），真正实现了从称样、加酸到消解，再到最终上机检测的全流程闭环自动化。

六、国产替代进程与市场展望  

莱伯泰科ICP-MS系列产品目前已广泛应用于环保、疾控、海关商检、半导体、医疗、大学院校等行业。2025年度，公司电感耦合等离子体质谱仪系列产品实现销售收入约3220万元，占公司营业收入的8.03%。  

在半导体这一应用领域，进口品牌目前仍处于主导地位，客户对国产设备普遍持审慎态度，验证周期较长。莱伯泰科正凭借“场景驱动创新”的战略，围绕半导体材料在线检测等新兴领域，开发高度适配本土需求的定制化仪器设备。公司目前已与多家半导体企业建立深度合作。  

在核心零部件方面，莱伯泰科质谱仪产品的核心零部件主要通过外部采购或外协加工两种方式获取，其中真空泵、检测器通过进口采购，离子源、控制系统等由公司自主研发设计，四极杆委托国内上游厂商加工，软件自主开发。